值得注意，EUV电子束机有三大种系统，分别是光源该系统、光学美人头、双工作台该系统，在往年7当月的时候，央视电视新闻爆料，国内首台高能同步辐射光源设备仍未在北京进入配置阶段，并且在同一天，要务之前科